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ICP-MS2000系列電感耦合等離子體質譜儀是將電感耦合等離子體高溫電離特性以 及質譜儀快速掃描特性結合在起。利用高溫電離特性將待測元素電 離，電離后的離子經過接口室進入質譜儀。在質譜儀離子透鏡作用下 傳輸、去除背景離子，再經過四桿篩選作用進入檢測器被檢測。